气体过滤器

筛网除尘大流量

专为集成气体系统 (IGS) 组件设计的高精度、高流量、全金属过滤。 Mott High Purity 多年来一直为半导体制造提供多孔金属过滤器和流量限制器，也提供 IGS 兼容型设计的相同产品。 因此，现在，您可以结合易于安装、坚持组件可访问性、易于维护、缩短装配时间和 IGS 典型组件之间的兼容性，以及莫特独家提供的选择和性能优势。 Mott 的使命是为客户提供独特的过滤和流量控制解决方案，使用专为苛刻的工作条件、9 LRV 效率和严格的流量控制而设计的材料。 我们的全系列 IGS 过滤器和流量限制器产品旨在与目前在 SEMI 2787中指定的工艺工具、气体柜和阀门歧管箱安装上指定的气体系统接口兼容。 随着对 300mm 转换的挑战，我们的技术提供了必要的解决方案。 高流速 — — 莫特多孔金属介质具有独特的性能，能够生产出比竞争对手更宽的流量、材料和配置选项。 这种几何形状的灵活性可提供额定流量高达 100 slpm 的过滤器，同时满足行业的信封要求。 完整的产品配置 — — 莫特标准 IGS 模块化安装产品包括带 C 密封或 W 密封的 1.125 英寸配置，以及带 C 密封或 W 密封的 1.5 英寸版本。 我们有你需要的设计。