Mott 的高纯度多孔陶瓷,包括定制多孔陶瓷和氧化铝陶瓷,具有可调节的孔隙率和孔径,以满足特定的电介质击穿、机械强度和流量要求。 我们的高纯度氧化铝(纯度高达 99.999%)陶瓷组件可减少污染,在极端环境下具有出色的耐热性、电绝缘性、抗等离子体性和惰性。
我们的高纯度陶瓷技术(包括 Mott 陶瓷插头)可根据您的独特应用需求进行定制,同时利用传统和 3D 打印功能。作为创新定制领域的领导者,我们的传统多孔陶瓷材料可制成各种形状,从小型多孔陶瓷管或套管到圆盘、板或其他形状。对于复杂的几何形状,我们的 3D 打印工艺可实现半导体器件制造应用中所需的关键特征的精确性和可重复性,例如静电卡盘插头(E-chuck 陶瓷)。
制造这些超高纯度多孔陶瓷 在洁净室环境中使用纯净的原材料可确保无与伦比的清洁度。陶瓷的固有特性,例如高温稳定性、出色的硬度、耐腐蚀性、最小的热膨胀和高熔点,使其成为半导体和其他高纯度应用中的过滤器、流塞、绝缘体、基板和封装等组件的理想选择。