气体曝气器 GasShield®

Mott Gasshield 气体扩散器可提供均匀的层流气流，最大限度地减少颗粒扰动。 他们 有效去除大于 0.0015 μm 的颗粒，提高晶圆质量，并提供超过 6,000,000 次循环的使用寿命，使其成为半导体制造的可靠选择。