空气扩散器

如何在不影响产量的情况下最大化吞吐量。 在不影响产量的情况下增加工具吞吐量的简单方法是提高与半导体电路的实际形成无关的任何步骤的速度。 其中一个步骤是重新加压或 “排气” 负载锁定腔室，从而形成一种正压环境，抑制颗粒从洁净室迁移到腔室。 挑战：在不干扰颗粒的情况下加压。 该腔室是污染的环境，加压可能会干扰内含的颗粒，使它们落入晶圆表面。 面临的挑战是尽可能快地加压，但不产生能干扰颗粒的气体喷射。 解决方案: 莫特加斯盾® POU (使用点) 扩散器. 莫特多孔金属可以大大减少负载锁定的 “通风” 时间，而不会通过喷头和简单的1/4 “入口线看到的不良的 “喷射” 效应。 多孔金属可降低清洗气体的速度，以确保气体均匀地流入室内。 莫特扩散器的替代品可产生一种或多种（可能是非层流）气体喷射流。 相比之下，我们的扩散器经过测试，在整个表面上均匀 ± 5% 的流速。