线性轴承座 ROTOGUIDE

空气垫式

极致定位精度 Micro-Jet 技术采用 ROTOFADE 空气轴承，代表了极致精度、承重能力和坚固性。 轴和轴承部件经过超高精度加工，可在微米范围内实现定位精度。 适用于超高真空 ROTOFAINE 单元，特别适用于超高真空下的高精度线性运动和旋转运动，也适用于在清洁度和精度方面具有最终要求的所有工艺。