空气分析仪 Process Sense™

元素集成式NDIR

处理Sense™适用于确定等离子房间清洁的完成，在半导体和证言房间。 压力分析仪使房间侵蚀减到最小，由于overcleaning。 结果，房间的生活服务是延长的。 设备从红外吸收被设计，为所有等离子清洁工作是高效率的。 它在完全升级工具包被提供， AMAT CVD工具的。 它可以被运用用介入氧化硅，氮化硅，多晶硅的不同的应用和在硅酮或TEOS过程。