热质量流量调节器 P2 MFC

酸气用数码

PFC-60 ΠMFC，制造由MKS仪器，是用于腐蚀性气体特别是的一个数字式热量流量控制器。 设备在技术包括改善根据功能和表现。 他们帮助半导体和高纯度薄膜应用的用户。 设备的流程控制是厚脸皮的对上游和下游干扰。 改进气体流程和它的准确性的实时控制。 他们比PID基于数字式MFCs有更好的房间配比。 压力传感器和LED显示被结合为了变小在气体棍子需要的组分。 原地的MFC'S的设定和查明故障归结于基于互联网的浏览器接口。