工艺气体分析仪

水气体踪迹

多气体分析仪，制造由MKS Intruments，为处理气体特别是使用。 设备使用红外的傅立叶变换(FTIR)和nondispersive红外线(NDIR)。 设备也有能力在ppb上对气体的ppm敏感性例如NF3、NH3、H2、没有和N2O。 它在气体可能也使用用30%水。