球形阀

伺服控制式压力调节两层式

HPS® 系列是由 MKS 仪器开发的隔离阀。 它采用不锈钢结构制造，具有精确的真空隔离。 它配备波纹管和球阀，手动，气动和电子气动驱动阀在加热或未加热角度。 该装置还配备内联结构、安全关闭阀和软启动阀。 此外，压力控制阀还配备钟摆、蝴蝶、叶片和弹出式节流阀，带有控制子系统。