热质量流量调节器 1559A

用于氮

MKS仪器1559弹性体密封了流量控制器为包括从20 slm (42.5的通用流量控制应用设计范围cfh)对200 slm (425 cfh)。 与其他流程控制器比较， 1559's独特的控制阀消灭动摆并且提供更好的反应时间。 这个特点通过自动地中立化线在控制阀之内的压力导致的不平衡状态的使用是可能的“平衡的力量”阀门设计。 1559A高流程流量控制器的准确性是±1%全方位。