热质量流量调节器 1640A
用于气体

热质量流量调节器 - 1640A - MKS Instruments - 用于气体
热质量流量调节器 - 1640A - MKS Instruments - 用于气体
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产品规格型号

所用技术
热质量
液体类型
用于气体
流量

最少: 0 l/h
(0 us gal/h)

最多: 1 l/h
(0.26417 us gal/h)

压力

5 psi

产品介绍

MKS仪器1640压力根据流量控制器是与标准3英寸脚印的一台金属被密封的仪器,被设计测量,并且控制在低线的气体流程迫使热量流量控制器在他们的能力被限制准确地测量流程的应用。 当在上游控制压力两次是至少顺流压力时, 1640年运用原则的声波流经管口,符合的情况。 在这些条件下,流量与控制压力是比例。 在1640A基于压力大量Flo控制器, Baratron®电容测压器监测压力逆流重要管口。 这压力与流程是比例。 被测量的压力在控制电子学与调整点的流程比较。 控制信号然后引起驾驶比例控制阀到导率如所需求带领实际控制压力(流程)进入与调整点的流程的协议。

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