高浓度臭氧发生器 SEMOZON® AX8410 PRIME

实验室紧凑型

SEMOZON® AX8410 PRIME 是 MKS 下一代紧凑型、高浓度、高流量、超清洁臭氧发生器平台的首款产品。 该器件采用全新设计的电池和功率结构，可实现与以前型号相似的臭氧输出量相比的两倍。 SEMOZON® AX8410 PRIME 通过静电放电将氧气转化为臭氧。 其新颖的专利电池设计可满足新的工艺要求，要求流速高达 80 slm 时臭氧浓度更高。 AX8410 PRIME 发生器提高了流速和浓度水平，以满足下一代半导体工艺的臭氧要求。