热质量流量调节器 IE1000A

用于气体

IE1000A流量控制器弹性体被密封，多气体或用于设计的多刻度的MFC对液体和尘土进入的抵抗是根本的苛刻的产业环境。 IE1000A可以从501范围到1000 slm (N2等值)。 这个宽广的流程范围由独特的控制阀设计使能，迅速地反应调整点变动，当维护闭合的导率泄漏率时低于其他高流程流量控制器。 2到3秒和调整点准确性的结算时间在1%调整点以下超出典型的高流程流量控制器。 精确控制被维护下来到2% IE1000A配置的全方位流程范围。 多气体或多刻度的能力和准确性、控制范围和瞬变响应的紧的规范使流程控制器存货要求减到最小。