热质量流量调节器 IE250A
用于气体

热质量流量调节器 - IE250A - MKS Instruments - 用于气体
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产品规格型号

所用技术
热质量
液体类型
用于气体
流量

最少: 100 l/min
(26.41721 us gal/min)

最多: 250 l/min
(66.04301 us gal/min)

压力

150 psi

产品介绍

IE250A流量控制器弹性体被密封,多气体或用于设计的多刻度的MFC对液体和尘土进入的抵抗是根本的苛刻的产业环境。 IE250A可以从100范围到250 slm (N2等值)。 IE250对运用最新的控制算法的模式输入/输出或数字式输入/输出是可利用的为对调整点的快速和反复性的反应。 1到2秒和调整点准确性的结算时间在1%调整点以下超出典型的高流程流量控制器。 精确控制被维护下来到2% IE250A配置的全方位流程范围。 多气体或多刻度的能力和准确性、控制范围和瞬变响应的紧的规范使流程控制器存货要求减到最小。

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