热质量流量调节器 IM50A

用于气体

IM50A流量控制器&流量米是一般用途，金属被密封的MFC以流程控制能力从5 sccm到50全方位slm， N2等值。 它合并最新信息在数字式流程控制电子和一个被证明的，给予专利的热量传感器和机械设计。 IM50A是数字式控制MFC提供以类似物(0到5 VDC或4-20 mA)或各种各样数字式(RS485、Profibus®和DeviceNet™)输入/输出。 数字控制电子为对调整点的快速和反复性的反应运用最新信息在MKS控制算法在控制范围中。 典型的反应时间是大约500毫秒。 数字式定标(包括)产生1%在定标气体的调整点准确性。