热质量流量调节器 GE50A
用于气体

热质量流量调节器 - GE50A - MKS Instruments - 用于气体
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产品规格型号

所用技术
热质量
液体类型
用于气体
流量

最少: 0 l/h
(0 us gal/h)

最多: 3,000 l/h
(13.2086 us gal/h)

压力

150 psi

产品介绍

GE50A数字式控制流量控制器对RS485, Profibus™、EtherCAT或者DeviceNet™输入/输出是可利用的。 数字控制电子为对调整点的快速和反复性的反应运用最新的MKS控制算法在设备控制范围中。 典型的反应时间是大约500毫秒。 数字式定标产生1%在定标气体的调整点准确性。 输入/输出协议被设计允许GE50A用较小编制程序容易地替换RS485和MKS 1179A MFC的DeviceNet版本。 一个标准3英寸脚印使能它的用途,不用修改现有的排气管配置。 GE50A合并少量弹性体-仅一外在弹性体封印和弹性体阀塞。 所有被弄湿的表面是金属。 GE50A来与Viton®封印或任意布纳的支持不同的气体要求的标准, Neoprene®或者Kalrez®。

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