圆度/圆柱度测量系统集世界一流的精确度和卓越的可操作性/分析能力于一身
世界一流的精度和卓越的可操作性
世界级精度
高精度自动定心/调平转台
高精度、高刚性转台是通过关键部件的卓越制造精度以及提供卓越刚性的高精度气动梁实现的。由此产生的旋转精度是圆度/圆柱度测量系统的核心,达到了世界级的 (0.02+3.5H/10000)pm 水平。
高刚性基座
要使测量系统达到高精度,作为系统基础的底座必须完全坚固。因此,我们利用有限元结构分析模拟对底座及其应用进行了全面分析。最终,我们开发出了高刚性底座。
高精度 Z 轴支柱
立柱导轨面的制造精度是实现完美直线度的关键,为了将这一精度提高到极致,我们采用了三丰公司的专利系统和机制,从而实现了 0.05prrV100mm 的超高立柱直线度(窄范围)。
高精度定位传感器
在 X 轴和 Z 轴驱动单元的定位传感器中采用了三丰的线性编码器,可直接感知 dnve 单元的位移,从而实现重复测量所必需的高精度定位。
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