半自动次峰值测量站 SPS-HS series

高速半自动系统 - 电动XY卡盘，SPS-2600中的电动压盘，SPS 2800中卡盘的电动Z向运动为标准配置。马达化的θ是一个选项。 - 基于伺服电机，线性编码器。 - 非常有成本竞争力，非常快，高生产力的解决方案 - 强烈推荐用于中等规模的生产或其他对产量有要求的应用。 规格 - 晶片尺寸 最高可达300毫米 - 电机类型 伺服电机 - XY平台行程 高达300mmx300mm - XY平台分辨率，重复性 马达化，0.15μm的分辨率，+/-1.2μm的重复性 - XY速度/加速度（最大） 最高1000mm/s，最高35mm/s2 - Z轴速度 20mm/s - 压板行程 12.7mm或25mm - 压板调整 双重粗调和细调，重复性优于2.5µm - 压板平面度 200毫米范围内<12.7μm - 压板刚度 4.5公斤时<50μm - 真空吸盘 多区真空 - 卡盘平整度 +/-13μm - 卡盘击穿电压 至少500V - 卡盘隔离度 至少1GΩ - 卡盘调整 360°粗调，+/-6°细调 - 显微镜 高质量立体变焦，工作距离可达200毫米，放大倍数为3.5倍至180倍 - 馈通端子 BNC、Triax或Banana插头 - 系统尺寸 101厘米宽x91厘米深x88厘米高