半自动次峰值测量站 SPS-HP series

高精度的半自动系统 - 电动XY卡盘，标准配置中卡盘的电动Z运动。电动Theta是一个选项。 - 基于步进电机，线性编码器。 - 对于定位规格来说，具有成本竞争力。 - 是小批量生产测试和加工的理想选择。 规格 - 晶片尺寸 高达300毫米 - 电机类型 步进电机 - XY平台行程 高达300mmx300mm - XY平台分辨率，重复性 电动化，0.15μm的分辨率，+/-1.2μm的重复性 - XY速度（最大） 50mm/s - Z轴速度（最大） 10mm/s - 压板行程 12.7毫米或25毫米 - 压板调整 双重粗调和细调，重复性优于1µm - 压板平面度 200毫米范围内<12.7μm - 压板刚度 4.5公斤时<50μm - 真空吸盘 多区真空 - 卡盘平整度 +/-13μm - 卡盘击穿电压 至少500V - 卡盘隔离度 至少1GΩ - 卡盘调整 360°粗调，+/-6°细调 - 显微镜 高质量立体变焦，工作距离可达200毫米，放大倍数为3.5倍至180倍 - 馈通端子 BNC、Triax或Banana插头 - 系统尺寸 101厘米宽x91厘米深x88厘米高