低温次峰值测量站 CPS-XXX-CF

CPS-XXX-CF型低温探针站实现了低成本、稳定、可靠和方便的低温半导体测试，甚至可以对器件和电路进行低温晶圆级测试。内置振动隔离、智能热管理和工程热膨胀补偿，使这个低温探针站系统非常适合从纳米电子学（石墨烯研究、分子电子学、量子计算等）到空间电子学的广泛应用。低温探针站系统使用封闭式循环冰箱和专有的热管理，允许廉价和快速运行。MicroXact的低温探针台有内置的振动隔离，将振动降到工业标准的水平。超稳定的微操纵平台允许探针尖准确和可重复地接触到设备特征。探针和晶圆卡盘的广泛选择允许应用范围包括超精密、fA级测量、射频测量和更多。一系列的探针操纵器和探针尖可与MicroXact的低温探针站一起使用。 低温探针站的特点 - 具有成本竞争力、稳定、可靠和使用方便。 - 低温晶圆级测试和低温半导体测试。 - 温度范围从4K到480K（精度0.1K或更高）。如果装有不同的CCR，可以提供不同的范围。 - 封闭式循环制冷器可实现低成本的无低温操作。 - 对直径达1"、2"、4"、6 "或8 "的晶圆进行低温器件表征（取决于型号）。