半自动次峰值测量站 SPS-2 series

真空

SPS-2600-VAC和SPS-2800-VAC系列是MicroXact的真空探针系统，设计用于支持在真空或受控气体环境中对高达100毫米或高达200毫米的晶圆进行机动或半自动探测。这种真空测试方案系统而精确，成本效益高，噪音低，使用方便。这些真空探针系统建立在一个振动补偿的多功能平台上，能够被配置为处理广泛的探测应用。MicroXact的真空探针系统是进行低至77K的无结冰测试或易氧化的设备和元件的高温测试的理想选择，它提供可控环境的晶圆级探测。 真空探针站的特点 - 可提供标准的重复性/分辨率（+/-7mm/1.5mm）和高重复性/分辨率（优于2mm/100nm）的X和Y。 - 可提供手动或电动θ台。 - 可提供带有外部手动微动调节器的探针臂。 - 可提供液氮冷却的热卡盘，用于低至液氮温度的测试。 - 标准配置包括7:1X变焦管，分辨率优于4微米。 12.也可提供5:1和16:1变焦镜头。高分辨率的复合显微镜可通过特殊的顶盖设计来容纳。 - 对真空泵的振动进行有效的振动隔离。 - XactTest™自动化软件，增加了自动压力控制功能。