高温次峰值测量站 CPS-HT

CPS-HT是MicroXact的高温探针系统，用于在真空或受控气体环境中对市场上最高温度的器件进行测试和鉴定。我们提供手动晶圆探针，用于测试高达2" x 2" (50mm x 50mm)的样品，以及电动或半自动系统，用于测试100mm或更大的晶圆。这些系统能够在真空中测试高达700oC的样品，或在大气压下测试高达650oC的样品。 特点 - 探头臂带有外部手动微动调节装置。 - 可提供空气或液氮冷却的热卡盘。 - 标准配置包括7:1X变焦管，分辨率优于4μm。 12.也可提供5:1和16:1变焦镜头。 - 对真空泵的振动进行有效的振动隔离。 - 快速的加热和冷却时间。