型号CPS-XXX-CF-PLUS能够在低至9K(单CCR系统)、4.5K(双CCR系统)或甚至低于4K(三CCR系统)的低温条件下对晶圆和器件进行快速和经济的测试。
我们提供测试100毫米、150毫米、200毫米或300毫米晶圆的系统,可选择负载锁定功能。这些系统可以配置独立的探针臂(可选择楔形探针)或探针卡座。可以用超过100个的直流探头进行高密度探测。这样的系统是新兴的量子计算领域和既定的超导电子学领域的理想选择。
特点
- 探针臂带有外部手动微动调节装置。
- 多种CCR选项。
- 标准配置包括7:1X变焦管,分辨率优于4微米。 12.也有5:1和16:1变焦镜头可供选择。
- 对真空泵振动的有效振动隔离。
- 可选的无源和/或有源磁屏蔽。
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