电阻率次峰值测量站 A4P-series

A4P系列晶圆电阻率测绘仪采用成熟的行业标准，提供快速、准确和可靠的样品电阻率分布测量。MicroXact的四点探针通过让电流通过四点探针的外侧点并测量内侧点上的电压来测量各层半导体晶片的平均电阻。然后，电阻率的值，即材料赋予它的电阻的特性，可以通过将片状电阻乘以薄膜的厚度来找到。 提供100毫米、150毫米、200毫米或300毫米的系统，A4P四点式探头的设计是免维护的，非常容易使用。该系统有多种选择，包括大范围的热测试、用于非标准材料的定制卡盘和为几乎所有应用定制的四点探针。 电阻率测量自动化软件 A4P-200-PLUS自动化软件允许使用电阻率测绘系统进行半自动或全自动的测试。界面的设计简单而强大，允许用户为几乎任何种类的晶圆结构轻松地设置一个自动测试程序。基于LabView的软件是有逻辑的，可以轻松地整合客户自己的测试和测量设备。该软件可以安装在任何装有Windows XP或更高操作系统的PC上。