半自动次峰值测量站 SPS series
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产品规格型号
- 类型
- 半自动
产品介绍
标准半自动系统
- 标准配置中，SPS-2600中的电动XY卡盘、电动压板，SPS 2800中的卡盘电动Z向运动。马达化的θ是一个选项。
- 基于步进电机，没有编码器。
- 非常具有成本竞争力
- 在需要进行低于0°C测试或屏蔽的应用中，强烈推荐使用。
- 可选项：加热或冷却卡盘，变焦显微镜或复合显微镜，各种屏蔽，选择卡盘进行直流和射频测量，以及更多。
规格
- 晶片尺寸
最高可达200毫米
- 电机类型
步进电机
- XY平台行程
高达200mmx200mm
- XY平台分辨率
电动化，6.5μm的重复精度
- XY速度（最大）
9.5毫米/秒
- Z轴速度（最大）
5毫米/秒
- 压板行程
12.7毫米或更多
- 压板调整
双重粗调和细调，重复性优于2.5µm
- 压板平面度
200毫米范围内<12.7μm
- 压板刚度
4.5公斤时<50μm
- 真空吸盘
多区真空
- 卡盘平整度
+/-13μm
- 卡盘击穿电压
至少500V
- 卡盘隔离度
至少1GΩ
- 卡盘调整
360°粗调，+/-6°细调
- 显微镜
高质量立体变焦，工作距离可达200毫米，放大倍数为3.5倍至180倍
- 馈通端子
BNC、Triax或Banana插头
- 系统尺寸
122厘米宽x122厘米深x92厘米高
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