手动次峰值测量站 SPS series

SPS-1000、SPS-2000和SPS-2200系统是MicroXact首屈一指的手动探针台，设计灵活，易于使用。这些手动探针系统的高水平性能和经济性使它们在同类产品中独树一帜。 我们的探针站具有高达200毫米晶圆的能力，直流或射频探针和可选的热卡盘，以及各种屏蔽选项，可用于广泛的应用，如故障分析、可靠性测试、IV/CV测试、低电流测试以及微波和射频特性分析，仅举几例。 使用MicroXact的手动探针站进行IV、CV和低电流测试，可以为半导体器件的表征提供所需的精确和准确测量。由于MicroXact的手动探针站有多种选择和灵活性，晶圆级电容和低电流测试从未如此简单。 特点 - 手动平台组件可提供额外的预载滑块，以方便装载和卸载晶圆或样品。 - 手动控制压板和卡盘的Z位置，可进行粗调和细调。 - 光滑的铸钢压板可容纳10个磁性或真空定位器。 - 同轴和三轴卡盘以及外壳可用于低漏电流测试。 - 标准的吊杆安装组件用于显微镜的全范围XYZ定位。 - 可用80TPI螺钉的高分辨率微定位器，用于μm级的探针定位。 - 可用高分辨率的微定位器与80TPI螺钉进行μm级的探针定位。