SF6气体传感器 VKM2002985

微流量NDIR非分光红外用于过程测量工业气体安全控制

在许多应用中，六氟化硫仍然是不可或缺的微量、保护或绝缘气体。由于六氟化硫具有很强的温室效应，因此对这种气体进行负责任的处理就显得尤为重要。MicroFLOW SF6.100 Vol.-% 传感器适用于要求精确可靠的各种苛刻应用。 应用领域 工业：SF6 用于等离子蚀刻工艺，在硅、二氧化硅和其他化合物等半导体材料上形成精确的图案。在特殊的蚀刻室中使用这种气体，通过施加高频能量将其转化为等离子体。然后，等离子体与材料发生选择性反应，在非常受控和精确的过程中实现材料的精确雕刻或去除。 在铝的生产过程中，六氟化硫被用作一种示踪气体，以提高生产过程的效率，并及早发现潜在的问题。六氟化硫还可用于监测最终产品的质量和一致性。 能源技术：在电力供应领域，SF6 被用作高压开关柜和变压器的绝缘气体和冷却介质。六氟化硫的测量对于及早发现泄漏和监测系统状况非常重要。 测量精度 在测量和监测六氟化硫时，我们的近红外气体传感器可实现精确的测量结果。通过 10 点线性化，在整个测量范围内，测量气体浓度的最大偏差小于 1%，最高可达 100%（体积百分比）。