白光干涉仪 interferoMETER

OEM应用亚纳米级位移测量子皮米级位移测量

Micro-Epsilon公司的白光干涉仪针对工业用途进行了优化，其精度为光学距离和厚度测量提供了前所未有的精确性。该产品组合包括三种不同的干涉仪版本，适用于不同的应用领域。这些系统可实现稳定的测量结果，分辨率在亚纳米范围内。 - Micro-Epsilon创新的interferoMETERs分辨率<30皮米，在光学测量技术上达到了一个新的精度水平。根据不同的应用，有三种不同的版本可供选择。IMS5400-DS适用于高精度和工业距离测量；IMS5400-TH适用于精确的厚度测量；IMS5600-DS采用真空适用设计，适用于亚纳米精度的距离测量。 高精度IMS5400-TH用于薄型透明材料的厚度测量。无论与被测物的距离有多远，只用一个传感器就可以进行测量，可以承受被测物的颤动或移动。近红外光源也可用于防反射镀膜玻璃的厚度测量。 IMS5400-DS用于工业距离测量。该测量系统提供绝对的测量值，并能可靠地检测到例如台阶和边缘，而不会有信号损失。 IMS5600-DS设计用于无尘室和真空环境（最高可达UHV）中的距离测量。特殊的控制器校准可实现亚纳米级的分辨率，例如，在对准传感器或定位平台时，需要这样的分辨率。