线性纳米定位平台 NPX series

压电3轴紧凑型

NPX 压电叠堆线性平移台提供一、两或三轴上的长行程亚纳米分辨率的运动，所有这些均在一个紧凑型封装中实现。它们具有快速响应和快速稳定性能，使它们可以用于动态过程（如高频误差补偿、跟踪、快速步进或连续扫描）。 •亚纳米压电定位分辨率 •在 X、XY 或 XYZ 中运动 •压电行程范围可达 400 µm •可选集成应变计，适用于闭环操作 •共振频率高，适用于高动态应用 •真空版本 亚纳米定位分辨率 NPX 压电叠堆线性平移台的定位分辨率低至 0.2 nm，因此可以进行超精细调节，且该分辨率仅受限于控制器件的噪声。 大范围的压电行程 针对高占空比的循环操作，NPX 压电叠堆线性平移台具有可靠性高、多层、低压压电叠堆的特性。复杂的 FEA 优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动和高达 400 µm 的行程范围。由于该平台符合无摩擦导向原理，NPX 压电叠堆线性平移台无需维护，不存在磨损。更重要的是，其输出运动灵敏度不会受机械摩擦的影响。 可选集成应变计，适用于闭环操作 闭环产品（型号以 SG 结尾）内部集成有高分辨率应变计位置传感器，其支持高精密且可重复的运动，而且还会对促动器蠕变进行补偿。该产品的装配基于完整的惠斯通电桥进行，并且对温度不敏感。闭环产品即可开环也可闭环控制。 提供真空版本 NPX 压电叠堆线性平移台具有真空兼容版本，可在真空 (10-6 Torr) 环境中使用。 X、XY 或 XYZ 轴上运动 NPX 压电叠堆线性平移台提供 X轴、XY双轴 和 XYZ三轴位移的产品。多轴 XY 和 XYZ 产品利用先进的平行运动原理，这意味着所有促动器直接作用在移动平台上。与具有诸如单级叠堆串联运动学的其他压电系统不同，NPX 压电叠堆线性平移台形状系数更小、惯性更低，因而可以实现更快的运动。