线性位移台 MX35

XYZ轴压电3轴

对由10^ (- 9) mbar决定的高真空条件 在x、y和z方向的10 mm旅行 35 x 45 mm脚印 有压力电子惯性驱动的微型xyz反馈装置。MX 35的UHV编辑。