XY轴位移台 ML17

XYZ轴机动压电

在17 x 32 mm脚印的5 mm旅行 对由4K决定的极端底的温度 非常紧缩设计 对由10^ (- 6) mbar决定的高真空条件 极端底的温度的微型翻译阶段与压力电惯性驱动。