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PVD镀膜机 MINIPEROvap磁控溅射热蒸发离子束辅助
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产品规格型号
- 方法
- PVD
- 所用技术
- 磁控溅射, 热蒸发, 离子束辅助
- 镀层类型
- 薄膜
- 其他特性
- 真空
- 应用
- 微电子行业, 光伏应用
产品介绍
100%专用于过氧化物的迷你PVD室
- 可以集成到现有的MBRAUN手套箱中（通过前室）。
- 紧凑型设计
- 适用于最大50x50毫米的基片
- 最多可以有4个光源
- 层的均匀性< +/-5 %。
- 经济的解决方案
- 交付时间短
- 易于在现有的手套箱中进行改装
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