溅射镀膜机 OPTIvap

热蒸发离子束辅助薄膜

- 灵活、模块化的系统 - 独立的（S）或手套箱集成的（G）。 - 集束工具的构建模块 - 多基底和多掩模工艺 - 标准均匀性。+/- 3 % (通过特定的几何设计可达到+/1 %) - 基片尺寸达150x150毫米或直径达150毫米（6英寸）的OPT。150毫米（6英寸），用于OPTIvap 4 - 基板尺寸最大为200x200毫米或直径为280毫米(8英寸)。280毫米（8英寸），用于OPTIvap 6 - 复杂的多层器件（OLED，OPV）。 - 光学层 - 半导体、光伏 - OLEDs/有机电子 - OPVs - 电池