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磁控溅射镀膜机 MINIvap热蒸发离子束辅助薄膜
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产品规格型号
- 所用技术
- 磁控溅射, 热蒸发, 离子束辅助
- 镀层类型
- 薄膜
- 其他特性
- 真空
- 应用
- 微电子行业, 光伏应用
产品介绍
可以集成到现有的MBRAUN手套箱中（通过前室）。
- 适用于高达50 x 50毫米晶圆的基片
- 紧凑的设计
- 经济的解决方案
- 交付时间短
- 安装快速、简便
- 在现有的手套箱中易于改装
- OLEDs/有机电子
- OPVs
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