直接热式质量流量测量
精度高
根据氢气 H2 进行实际校准
明亮的图形化 OLED 显示屏
数字或模拟输出;报警和计数功能
高精度针阀
特点
清晰显示
- 实际流量(柱状图和数值)
- 所需流量单位
- 气体类型
- 总流量
明亮的广角 OLED 显示屏
无视差误差
几乎不受温度和
压力变化
压降低
流量范围广
响应速度快
精度高
可配置密码保护
报警和计数功能
继电器
高分辨率针阀
数字校准
免费软件工具
技术规格
精度
当流量大于最大容量的 50%时,± 2% RD
较低流量时为 ± (1% RD + 0.5% FS)
技术规格基于最大 FS 时的空气流量
重复性
< 0.2% FS 典型值
压力系数
0.典型值为 2% / 巴(空气
标准校准气体
氢气 H2
量程
高达 1:100
响应时间(传感器)
(t63%) 2 秒
工作温度
0 ... 50°C (32 ... 122°F)
温度系数
零点<0.1%FS/°C, Span:<0.2%RD/°C
泄漏完整性,外侧
测试 < 2 x 10-9 mbar l/s He
姿态灵敏度
< 0.1 % FS
机械部件
材料(润湿部件)
仪表:铝,氟橡胶 (FPM)
针阀SS316、氟橡胶、聚四氟乙烯
工艺连接
G 1/4" BSPP 内螺纹
(可选压缩接头)
密封件
氟橡胶、聚四氟乙烯
重量
0.7 千克
电气性能
电源
+15 ... 24 伏直流(+/- 10)
最大功耗
约 135 mA
输出
0 ... 5 伏直流
电磁兼容性
欧盟声明
---