直接热式质量流量测量
精度高
10 种预装气体
明亮的图形化 OLED 显示屏
数字或模拟输出;报警和计数功能
带压力补偿的高精度针阀
特点
清晰显示
- 实际流量(柱状图和数值)
- 所需流量单位
- 气体类型
- 总流量
明亮的广角 OLED 显示屏
无视差误差
几乎不受温度和
压力变化
压降低
流量范围广
响应速度快
精度高
可配置密码保护
报警和计数功能
继电器
多种气体/多种范围
10 种预装气体
膜操作阀
高分辨率针阀
数字校准
免费软件工具
技术规格
精度
流量大于最大容量的 50%时,± 2% RD
较低流量时为 ± (1% RD + 0.5% FS)
技术规格基于最大 FS 时的空气流量
重复性
< 0.2% FS 典型值
额定温度
0 ... 50 (32 ... 122°F)
工作压力
0 ... 10 bar(g) / 0 ... 150 psi(g)
压力系数
0.2% / bar(典型值),空气
标准校准气体
空气,其他气体使用我们的 Fluidat® 转换模型进行转换,这会带来额外的误差
量程
可达 1:100
响应时间(传感器)
(t63%) 2 秒
温度系数
零点<0.1%FS/°C, Span:<0.2%RD/°C
泄漏完整性,外侧
测试 < 2 x 10-9 mbar l/s
姿态灵敏度
< 0.1 % FS
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