最大可测量205mm的产品阵容
高刚性,结构坚固,具有出色的耐环境性,可支持各种各样的测量
精度:2μm p-p ~ 6μm p-p (因机型而异)
防尘,防滴,防油结构。耐环境性良好 (P型)
强测量力 (DK10 / 25 / 50 / 100P型):4.9 ~ 9.3 N (因机型而异)
低测量力 (DK10 / 25 / 50 / 100N型):0.3 ~ 2.7 N (因机型而异)
通过附带的磁吸附式测头,可将其吸附在移动台上进行测量 (DK155 / 205)
内置原点
输出信号:A/B相(脉冲),原点 (输出电压差动型线驱动器信号)