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- 位置、速度、加速度测量仪器
- 增量线性编码器
- Magnescale Europe GmbH
增量线性编码器 BS78光学非接触式开型
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产品规格型号
- 类型
- 增量
- 所用技术
- 光学
- 机械特性
- 非接触式, 开型
- 输出信号
- 模拟, 数字, 正弦
- 保护水平
- 无磁
- 应用
- 工业, 线性发动机式
- 其他特性
- 紧凑型, 高精度, 高解析度, 高速, 带玻璃分划尺
- 长度
最多: 420 mm
(16.535 in)最少: 40 mm
(1.575 in)- 分辨率
最多: 0.1 µm
最少: 0.01 µm
- 线性编码器速度
最多: 400 mm/s
最少: 0 mm/s
- 工艺温度
最多: 30 °C
(86 °F)最少: 10 °C
(50 °F)
产品介绍
在保持高速响应和高分辨率的同时，实现稳定的超精密测量。适用于精密工作台，半导体测试/制造设备及超精密加工机等
信号波长为138nm的高分辨率栅尺，超过了光波干涉仪
不受湿度，气压或乱气流影响的高稳定性
原点精度：±0.1µm
精度：±0.04µm 或更小 (测量范围为40mm)
完全非接触式，原理上不会产生返回误差
测量范围：40 ～ 420mm，9种(-R/-RS)
测量范围：10 ～ 420mm，10种(-N/-NS)
支持真空和非磁性 (特殊规格)
使用低膨胀玻璃:－0.7×10-6/℃ (测量范围:10 ～ 420 mm)
分辨率：2.1pm
