自动涂覆机 SE series

高精度

北玻镀膜水平式建筑镀膜线，采用磁控溅射沉积技术，在玻璃表面沉积一系列介质和金属薄膜，主要用于加工各种low-E玻璃、AR膜，以及阳光控制玻璃等。 设备特点： 1. 溅射室由一系列结构相同的795mm井位单元构成 2. 泵井位采用独特的气体隔离装置 3. 应用新一代以铝型材为支撑结构的可调式磁棒 4. 设计5-9段辅助工艺气体分配系统，每一段可以选择不同类型的气体 5. 采用伺服电机控制，实现传输的高精度控制。 6. 不断缩小进/出口室腔体体积，提高节拍，降低成本 7. 工艺气体分配系统集成在阴极盖板上 8. 每一个阴极单元都配有独立的控制系统 9. 前后室采用整体式盖板设计，可实现机械提升和液压提升 10. 镀膜区采用磁悬浮分子泵和干泵