硅抛光机 PM6

片材用于半导体平面研磨

PM6是罗技有限公司各种精密研磨和抛光系统的最新产品。 这台台式研发设备可再现生产规模设备上的典型加工结果。在使用上高度灵活，PM6允许你处理许多不同的材料；包括砷化镓、硅、岩石和土壤。 PM6机器被广泛地用于以下领域。 地质薄片的制备：即岩石研磨系统 半导体材料的制备，即硅片的抛光。 PM6被设计成一个工作站，它有两个磨料进料缸，由蠕动泵计量输送，并配有可选的自动平板平整度控制。 自动印版平整度（可选） 自动印版平整度控制系统持续监测印版形状，并自动纠正与预先设定的形状的任何偏差。这样就不需要在加工前重新修整印版，无限期地将形状保持在操作员目标的1微米以内。这可以是平面、凹面或凸面的精确程度。设定数值的简便性为操作者提供了时间，并提供了很好的样品输出。 PM6系统由铝和硬质聚氨酯制成，可承受最严格的研磨和抛光环境。所有功能都由图形用户界面（GUI）控制。PM6完全支持蓝牙，可以提供实时的数据反馈，可以通过USB端口提取外部数据进行分析。 主要特点 可处理高达100毫米/4英寸的晶圆 高达100rpm的研磨板速度有助于提高研磨率