在罗技,我们一直在开发LP70,一个全新的多工位精密研磨和抛光系统。这台台式设备被设计成可同时运行自动程序,使操作人员能够按照严格的样品规格实现可重复的结果。该系统有四个工作站作为标准,是生产环境和研究实验室的最佳解决方案。
每个工作站的晶圆加工能力可达100毫米/4英寸--每个工作站的夹具速度都是单独控制的,以获得高度精确的结果,而且使用驱动的夹具辊臂大大增加了精确度和可重复性。通过使用两个PP8夹具,LP70还具有加工直径达150毫米/6英寸的样品的能力。
蓝牙功能,如自动板面平整度控制,提供连续的板面平整度原位测量,自动纠正任何与操作员设定的规格的偏差。蓝牙功能还允许PP系列夹具上的数字指示器进行实时数据收集和反馈,从而实现更大的端点厚度控制,提高精确度。
直观的特点和改进的功能可以提高材料去除率,具有更高的控制水平和可靠的过程可重复性。
LP70是我们高度自动化研磨和抛光系统智能系列的最新产品。关于LP70的全部功能和工艺能力的更多信息,请观看产品视频并下载产品手册。
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