硬塑料抛光机 CMP-Orbis

精准

罗技Orbis CMP系统是一种精密设计的落地式CMP工具，非常适合于研发环境。 通常情况下，Orbis CMP系统用于进行试验性生产测试的应用，具有最佳的分析能力和增强的加工性能。 该系统的能力可以调整为包括。 后端集成电路制造。 微机电系统（MEMS）的制造。 光学MEMS 生物MEMS的制造。 低成本的解决方案 - 高价值的结果 进行试验性工艺测试的能力通常需要昂贵的生产级系统，然而Orbis在一个具有成本效益的系统中实现了这种能力。Orbis CMP系统融合了更多的特点和高科技功能，实现了比这种规模的系统通常提供的更高的加工能力。 灵活使用操作 除了复制生产水平环境的能力外，Orbis也适合于更传统的研发用途。 这包括小批量生产和试生产测试。 该系统能够使用专用载体处理直径达200毫米（8英寸）的所有晶粒、晶圆和零件晶圆。与以前的罗技CMP设备一样，可以利用模板和垫片，也可以将样品直接安装到样品载体上。 主要特点 是研发环境和试验过程测试的理想选择 高容量的工作空间，可容纳2个200毫米（8英寸）的样品 可下载的数据用于分析工艺参数 实验室规模的占地面积 工业标准的垫子调节，以保持最佳的垫子寿命