平面度测量机 GI20

用于控制高精度

罗技的GI20平面度测量仪提供高精度的平面度测量，适用于直径达150mm（6″）的研磨和半抛光表面。与传统的菲佐干涉仪不同，GI20可用于测量非反射表面，使其成为在最终抛光前对研磨和/或磨削表面进行检查的理想仪器。 干涉图显示在设备前端的屏幕上。可以通过HDMI端口创建一个平行显示，图像也可以通过USB端口导出，用于外部分析。干涉仪的所有功能都通过触摸屏面板控制。 掠入射型干涉仪 一个标准的菲佐干涉仪，根据使用的波长，通常以大约0.3微米的条纹间距运行。这通常限制了对高反射材料的平面度测量，而高反射材料将在显示器上提供足够的对比度。由此产生的条纹之间的短距离往往阻碍了对 "繁忙 "图像的分析。 罗技的掠入射干涉仪通过在样品表面上以掠入射角反射激光来克服这些问题。这种倾斜的光束确保显示器在反射性和非反射性样品表面都能显示出条纹。它还允许127mm x 150mm (5″ x 6″)的大可视孔径，使直径达150mm (6″)的样品能够被准确评估。 7英寸的屏幕允许在 "过程 "中进行快速和准确的测量，条纹间距以固定的2µm间隔显示，对抛光样品的表面处理产生出色的对比度，最高可达300nm Ra。