罗技的APD1精密锯是一种结合了环形锯和周边锯的锯片,是切割直径达55毫米的晶圆、晶体或半导体元件等样品的理想选择,切口损失最小,或者用于直径达100毫米(4英寸)的晶圆的精密切割。
在一台精密锯中提供了独特的环形切片和外围切割设施的组合,从晶体束中切割半导体晶圆和随后切割成基片可以在一台设备上进行。
APD1的设计是为了使试样能够被准确地、薄薄地切割和切片,并将表面损伤和切口损失降到最低。程序化的自动操作允许对选定的厚度和直径进行重复切割,允许全程无人看管的操作。
通过设置参数,如切割深度、切割厚度和要进行的切割次数,可以很容易地操作锯。
APD1精密锯是一种有效的工具,应用于以下方面。
晶体的切割和晶圆加工
电子元件的切割
半导体元件的切割
深度开槽
以及各种玻璃、陶瓷、岩石样品和电光材料的切割。
主要特点
在一个单元中进行环形和周边切割
高精度、低损伤的切片,切口损失最小
单次或多次切割
自动或手动操作
紧凑、现代的设计
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