高精度精研机 DL series

高速用于分析

罗技的DL高速研磨系统以高几何精度加工材料。DL系统的能力范围使其成为从小型研究实验室到生产环境的理想选择。通过使用定制的罗技模板和卡盘面，DL也有能力加工多个小样品。这些多功能研磨机有一个工作站（DL1）或四个工作站（DL4），能够研磨高达200毫米/8英寸的样品。 DL精密研磨系统对CMP应用中的标准化学品具有抗化学性，包括次氯酸钠（Na OCL）。 罗技DL44是大批量地质薄层和超薄层制备的理想选择。DL44有四个工作站，能够同时处理多达56个标准薄片。加上它的驱动头技术，可以实现更快的处理，这个系统是生产环境的理想选择。 有了额外的平板和罗技VCB7夹具的选择，DL44也可以用于薄片的最后阶段抛光。 主要特点 DL44每个工位的加工能力可达200毫米/8英寸，或多达56个标准薄片。 电机驱动的研磨夹具允许高几何精度和在整个过程中一致的样品旋转 - 导致优秀的晶圆均匀性。 通过蠕动泵的计量磨料进给系统，允许操作人员在5-100ml/min之间设置流速--提高质量和精度，同时减少浪费和操作成本。 通过系统的图形用户界面（GUI）控制工艺参数，包括磨料供给系统的流速和MRR。