Akribis-Air是一个智能的独立样品制备系统,提供了终极的处理创新,是一个高度自动化的独立机器。该系统提供罗技智能空气夹具的动态负载控制,在广泛的应用中提供快速、可靠和高度精确的结果。
Akribis-air提供的自动化水平大大减少了用户的输入、可变性、设置和清理操作。先进的软件系统的整合为高级加工提供了一个用户友好和高度控制的平台。罗技公司开发的智能、自由旋转的空气夹具在整个加工过程中使用空气压力来实现最大的样品负荷应用--满足最苛刻的应用需求。
Akribis-air对CMP应用中的标准化学品具有抗化学性,包括次氯酸钠(Na OCL)。
这个系统的典型应用包括。
- 硅 - 集成电路、太阳能和波导
- III-V和II-VI减薄和抛光
- 蓝宝石--LED
- 碳化硅--光学器件、LED和电力电子器件
- 氮化镓--光学器件、激光器、RFs
- 光学抛光 - 红外线、光纤和激光棒
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主要特点
独立的单工位系统,能够处理100mm/4″或150mm/6″的试样--驱动的夹具辊臂大大增加了精度和重复性。
400mm板,转速在5-100rpm之间--有利于提高研磨和抛光速度。
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