以不到AFM或3D测针轮廓仪一半的价格获得光学轮廓仪。Profilm30使用最先进的白光干涉测量法(WLI)来测量表面轮廓和粗糙度,测量精度低至0.05ym;增加PSI选项后,最小垂直特征尺寸可低至0.001pm。Profilm软件可以分析完整的图像,包括曲面和阶梯高度的表面纹理(粗糙度)。对于较大的图像,软件还可以将多个图像拼接在一起。
特征
- 100mm x 100mm的自动XY平台,运动范围为+1-5°的尖端倾斜。
- 自动Z-motion,100mm的射程
- 行业领先的500ym压电行程
- 业界领先的2mm宽视场和10倍物镜。此外,它还可以配置四位转塔,用于其他交替使用多倍物镜的应用。
- 265mm最大采样宽度
- 包括精度为0.5%的10um步高标准。其他100um、2um和4um的产品可供选择。
纹理(粗糙度)分析
对于曲面和纹理(粗糙度)表面,软件具有去除(也就是形状去除)和过滤功能。
按线型和面积划分,具有全部47个标准ASME/EUR/ISO粗糙度参数都可以支持。
1.阿尔法步法是一种破坏性测量,我们的系统采用的是一种光学非接触方法
2.可测量曲率和其他不平整表面的样品
3.同样的测量时间,比如几秒钟,这个系统可以测量几平方毫米的面积,但Alpha步进只能进行一维线性扫描。
4.可测量的更好的长宽比
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