室式炉 IT-GRV-330/350/2300

管状升华作用晶体生长

晶体生长 采用改良 Lely 法进行块状碳化硅单晶的物理气相传输 (PVT) 生长 其他应用包括合成高纯度 SiC 原料 产品规格 最重要的特征 感应炉，顶部装载设计 4" SiC 块状晶体生长 中频加热功率 30 千瓦 工作频率 8-10 kHz 处理气体 氮气、氩气、氢气，分压操作 5 - 950 毫巴 通过水冷双玻璃管设置的真空/气密室 真空泵系统，真空度为 2 x 10-5 毫巴，配有涡轮分子泵（685 升/秒） 高纯度石墨毡绝缘（卤素净化） 我们使之成为可能： Linn High Therm 擅长根据客户要求调整产品。如果您需要任何修改，请告诉我们。我们将竭尽全力满足您的愿望。 可能的标准化选项 坩埚旋转和位移 坩埚底部高温计 紧急水冷却 工艺指导软件 底部装载机设计 循环冷却装置 德国知名研究所提供的晶体生长培训