定向测量系统 YX-5A

X 射线

YX-5A 高精度蓝宝石定向仪：这是在 YX-2D6A 基础上升级的产品，与单色仪配套使用，六位数显示，最小读数为 1″，精度为 ±15″。专业针对单晶硅、蓝宝石、砷化镓等晶体设计，主要用于晶棒或晶板的测量，操作方便，输出显示，样品台上有轴承导轨，属于普通热模装置。 标准配置为 ：GA、GB 角测量仪 GA 角度仪的一个面可测量￠2-6 英寸晶体圆板；角度为 111、100；可测量晶棒基准面 110；OF 面角度。蓝宝石 A、C、R 面角度。 国标产品的另一个表面是为晶棒专业设计的，指定有一个 130mm 宽、300mm 长的定向水平板，2 个移动式尼龙 V 形槽晶棒支架，可用于测量￠2-6 英寸直径、400mm 长的晶棒表面。例如：硅（111）蓝宝石 C 表面和其他晶体的角度；第一个可用于 2-3 英寸表面的测量，第二个用于 4-6 英寸表面的测量。