灯光源

紫外线紧凑型用于显微镜检查

Hg-Xe 混合气体放电灯由带集成点火装置和镇流器的灯房组成。 使用 LEJ 深紫外照明系统，由于我们的镇流器具有低热漂移和非常稳定的直流电源，您将获得非常稳定的紫外辐射。 - 此外，我们的系统还能对灯管、反射镜和集光器进行可重复的机械调整。因此，LEJ 深紫外系统适用于晶圆检测或光罩光学审查和分析期间的照明，特别是结构和线宽的缺陷和瑕疵。 产品亮点 无热漂移 可重复的机械调整 集成高压点火装置 安全电路功能 工作时间计数器 应用领域 光掩膜分析 消毒 紫外线固化